【摘要】：隨著(zhù)各種水質(zhì)問(wèn)題的出現，水資源的保護越來(lái)越受到人們的關(guān)注與重視。溶解氧作為衡量水體自?xún)裟芰Φ囊粋€(gè)重要指標，一直是人們對于水體檢測的重點(diǎn)。傳統的溶解氧檢測方法有很多，但是由于其檢測儀器結構復雜，成本較高，不能實(shí)現對水體及時(shí)連續監測等問(wèn)題，給人們水體檢測帶來(lái)了諸多不便。因此，手持式，小型化的溶解氧檢測儀器已成為人們研究的重點(diǎn)。

本論文提出基于Clark溶解氧檢測原理，利用MEMS微加工技術(shù)制作出了兩個(gè)平行的微電極，然后通過(guò)對微電極位點(diǎn)的表面修飾，制備出了Clark型溶解氧傳感器微電極，并完成了修飾后微電極的相關(guān)電化學(xué)測試，提高了對溶解氧的響應。本論文主要完成了以下相關(guān)工作：

1、微電極的設計與制作：基于微電極在電化學(xué)反應中相對于宏觀(guān)電極的優(yōu)勢，以Clark型溶解氧測定原理為基礎，對微電極的圖形進(jìn)行了設計，通過(guò)標準MEMS工藝流程以及等離子體處理，制作出了鉑金微電極位點(diǎn)上附有鋁膜的微電極。

2、微電極的表面修飾：將裸鉑微電極位點(diǎn)處進(jìn)行CV電化學(xué)沉積銀，并通過(guò)鹽酸處理，成功制備出銀-氯化銀薄膜電極，將此作為溶解氧傳感器微電極的陽(yáng)極；對附有鋁膜的鉑微電極進(jìn)行陽(yáng)極氧化處理，選擇30V作為最合適的氧化電壓，通過(guò)監測反應過(guò)程中的電流變化來(lái)控制陽(yáng)極氧化的時(shí)間，從而制備出鉑金微電極位點(diǎn)上納米孔道，最后在氯鉑酸與鹽酸的混合溶液中利用電化學(xué)沉積法完成對其表面的納米級修飾，此微電極作為溶解氧傳感器微電極的陰極。

3、微電極的測試：首先對納米級修飾前后的鉑微電極進(jìn)行相關(guān)的電化學(xué)測試，發(fā)現修飾后的鉑微電極電化學(xué)阻抗明顯降低，CV掃描對一些電活性物質(zhì)及溶解氧的響應電流從40μA增大道130μA，峰位明顯正移；然后對納米級修飾后制作的Clark溶解氧電極進(jìn)行了相關(guān)溶解氧的測試，回路中的電流信號有顯著(zhù)的提高，達到幾十微安，其對溶解氧的電催化性能增強。表明該溶解氧微電極經(jīng)過(guò)納米級修飾，其對溶解氧測定的電化學(xué)活性和靈敏度都有明顯的提高。同時(shí)，由于該微電極檢測時(shí)所得信號是電信號，不需要繁瑣的信號轉換，因此可以用于制作小型化的溶解氧傳感器。