【摘要】：研究了三維微型腔模具的制備方法。該方法基于微型雙工位分層實(shí)體制造工藝(DLOM)，通過(guò)多層銅箔二維微結構疊加擬合出三維隊列微電極，將制備的微電極用于微細電火花加工來(lái)制得三維微型腔模具。首先，利用線(xiàn)切割對100μm厚的多層銅箔進(jìn)行逐層切割，獲得多層二維微結構。然后，通過(guò)真空壓力熱擴散焊對多層銅箔二維微結構進(jìn)行連接，疊加擬合出三維隊列微電極。最后，在電壓80V，脈沖頻率0.2MHZ，脈沖寬度800ns，休止脈寬4 200ns的作用下，將上述工藝制備的三維隊列微電極用于微細電火花加工，獲得表面質(zhì)量良好、形狀與尺寸精度較高的三維微型腔模具。為了有效減少電極損耗對加工精度的不利影響，使用隊列電極中的微電極依序對三維微型腔進(jìn)行了加工?；谏鲜鲅芯拷Y果，制備了兩種形狀的三維隊列微電極并通過(guò)微細電火花加工獲得了表面粗糙度Ra為0.48μm的三維微型腔模具。與目前主流的微細電極逐層掃描放電加工三維微結構的工作方式相比，提出的三維微電極只需進(jìn)行上下往返式加工便可獲得三維微型腔模具，工作效率高且損耗低。